Semiconductor
반도체·디스플레이 팹의 부속 환경부터 후공정 정밀 공조까지,
고청정·정밀 온습도가 요구되는 공정 환경을 설계하고 구축합니다.
Industry Context
나노 단위 공정,
환경이 곧 수율입니다.
반도체·디스플레이 공정은 파티클·수분·정전기·미세 온도 편차 하나만으로도
결함률이 크게 흔들리는 초민감 공정입니다. 노광·에칭·증착 등 핵심 공정은
ISO Class 1~5 수준의 청정도와 ±0.1℃대의 온습도 안정성을 요구하며,
후공정·검사 라인 역시 파티클과 크로스 컨태미네이션 관리가 필수입니다.
이러한 조건은 팹 본체뿐 아니라 그와 연결된 부속 시설·후공정 라인 전반에서
안정적으로 유지되어야 합니다.
Our Solutions
고청정·저노점을 아우르는
정밀 환경 엔지니어링.
Industrial Clean Room · Precision HVAC · Dry Environment
인터제로시스템은 반도체·디스플레이 공정에 요구되는 산업용 클린룸과
±0.1℃ 수준의 정밀 공조, 포토·화학 공정용 저노점 환경을
통합 설계·구축합니다.
배터리·바이오 등 첨단 제조 현장에서 검증한 고청정·정밀 온습도
엔지니어링을 바탕으로, 팹 부속 시설과 후공정·검사 라인에 최적화된 환경을 구현합니다.
FMCS / BAS중앙감시 · 트렌드 · 알람
1공기조화기 (MAU)
- DDC 판넬노점·온도 PID
- 노점센서급기 DP
- 제어밸브냉수·온수
- 인버터급기팬 INV
2FFU
- MCU메인 컨트롤러
- LCU × n로컬 컨트롤러
- FFUEC 모터
3Clean Room 환경감시
- 온습도TE / HE
- 실 차압DPS
- 파티클Particle Counter
- 알람·이력FMCS 기록
4Dry Cooling Coil
- DDC 판넬현장 PID
- 2-way 밸브냉수량
- 혼합밸브2차 루프
- 결로방지노점 +2~3°C
5배기 · 대기방지시설
- 정압센서덕트 정압
- 배기팬INV · 이중화
- 스크러버pH · 수위
- PLC 판넬MAU 연동